德国SIOS长度测量干涉仪SP 5000 TR 原理介绍

2022年01月07日 09:53:37 人气: 426 来源: 天津瑞利光电科技有限公司

产品介绍：

工业和研究中的许多应用都需要高精度的同时位移和角度测量。快速设置和简单的调整尤为重要。三光束激光干涉仪是一种精密的长度测量设备，将三个干涉仪组合在一个设备中。在所有三个测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率。因此，可以以纳米精度同时测量三个长度值。可以根据两个长度值之间的差异以及校准的光束距离来高精度确定相应的角度。

该系统采用模块化设计，因此可以适应多种测量任务。传感器头的光纤耦合和可选的集成光束方向检测功能支持轻松操作和调节。三光束干涉仪的设计紧凑而坚固。这使其非常适合工业和研究中的高精度测量以及作为OEM仪器。对于较大的测量范围或校准任务，建议使用无线温度传感器或气候测量站LCS。

参数：

测量范围：max.5 m

光束距离：12 mm

角度分辨率：0.002 arcsec

带反射器的角度测量：直到±12.5°

关键词： SIOS , 长度测量干涉仪

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